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单晶硅专用破碎锤头

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一种多晶硅破碎锤的制作方法 - X技术

本实用新型属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种多晶硅破碎锤。背景技术多晶硅作为半导体用的单晶硅晶片原料,需要将高纯度多晶硅利用坩埚熔化并用使用单晶硅的晶种而使得单晶硅生长。目前高纯度的多晶硅用被称为西门子法的方法来制造,通过该方法能够获得直径140mm左右的呈圆柱状的 ...

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